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ポーラス体吸着プレートRPC

吸着プレートRPC

主な特長

耐衝撃性

  • 優れた高硬度、高剛性及び耐衝撃性

シートの歪み軽減を実現

  • 微細気功吸引により、貫通穴型プレートで発生し易い、シートの歪みを軽減

特徴
セラミックス系
  • 耐酸性に優れる
  • 耐溶剤性に優れる
  • 耐摩耗性に優れる
  • 軽量
  • 熱膨張係数が少ない
金属系
  • 耐熱性に優れる
  • 耐腐食性に優れる
  • 導電性(静電効果○)
  • 微細な吸着孔で歪み少ない
    (柔らかく、薄ワークに適)
  • 高硬度耐衝撃性に優れる

用途例

1.真空吸着板 2.吹き出しノズル 3.その他
  • 真空チャック
    (ダイシング装置、検査装置、半導体装置)
  • 基盤
    (積層基盤、グリーンシート、スクリーン印刷等)
  • 真空ピンセット
  • バブリング
  • エアーノズル
  • 排ガスフィルター
  • 搬送用

吸着プレートの種類

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