ポーラス体吸着プレートRPC

優れた高硬度、高剛性及び耐衝撃性

微細気功吸引により、貫通穴型プレートで発生し易い、シートの歪みを軽減

特徴
特徴	セラミックス系耐酸性に優れる耐溶剤性に優れる耐摩耗性に優れる軽量熱膨張係数が少ない	金属系耐熱性に優れる耐腐食性に優れる導電性（静電効果○）微細な吸着孔で歪み少ない（柔らかく、薄ワークに適）高硬度耐衝撃性に優れる

1.真空吸着板	2.吹き出しノズル	3．その他
真空チャック（ダイシング装置、検査装置、半導体装置）基盤（積層基盤、グリーンシート、スクリーン印刷等）真空ピンセット	バブリングエアーノズル	排ガスフィルター搬送用