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超精密研削・研磨Tool

CMPコンディショナREV

主な特長

結合性

  • セラミックス系の場合、ダイヤモンドとの結合が非常に強い

構成元素の保持性

  • セラミックス系の場合、構成元素として遷移金属元素が含まれていないため、これらの元素の溶出を危惧する必要がない

  READ Conventional dressers
Bonding materials Ceramics Transition metals
(plated)
Transition metals
(brazed)
Hardness(Hv) 1200 600 200
Retention of diamond
Metal contamination ND level Ni Ni、Cr
  SS-W2000 READ      Brazed A.   Brazed B.  Brazed C. 
Cr
162
152
531
1,300
195
Fe
51,755
52,796
53,696
55,000
67,060
Ni
<40
<40
9,265
3,900
291
Cu
<40
<40
<40
<40
<40
Ag
<20
<20
<20
<20
<20

CMPコンディショナの設計

加工例

ウレタンパッド加工例 ダイヤモンドコンディショナの加工寿命

同じ条件下でパッドコンディショニングを実施しても、CMPコンディショナによってパッドのカットレートの変化は異なる

パッド表面状態

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