超精密研削・研磨Tool
HALプレート
主な特長
- 超微細砥石による固定砥石加工
- 高加工速度、高平坦度かつスラリーが出ない
- 従来の固定砥石のデメリットを、超微細砥石の採用によって解消
遊離砥石と固定砥石の特徴
加工例
アルチックバー鏡面加工
加工条件
| 砥石直径 | Ø280x66H |
|---|---|
| 砥石回転数 | 30 r/min |
| 砥石圧力 | 0.1Mpa（約1kg/cm2） 0.1Mpa |
| 研削時間 | 10min |
| ワーク | アルチック基盤（加工面：HAL#8,000） AITic（After grindeng SD8000 HAL） |
| ワークサイズ | 70Lx1.2W 3本 |
| ワーク回転数 | 30 r/min |
| x1,000 | x5,000 | 表面の粗さ | |
| 10min |  |
 |
Ra:0.584 nm P-V:2.709 nm |
| 600min |  |
 |
Ra:0.596 nm P-V:3.023 nm |
ガラス加工
加工条件
| 砥石直径 | Ø100x40H |
|---|---|
| 砥石回転数 | 80 r/min |
| 砥石圧力 | 0.1Mpa 0.1Mpa |
| 研削時間 | 15min |
| ワーク | 青板ガラス（加工面：WA #1,200 ハンドラップ） Glass（After WA #1,200 hand lapping） |
| ワークサイズ | 25mmx25mm |
| ワーク回転数 | 30 r/min |
| 光学顕微鏡 | 加工前 | 加工後 |
|---|---|---|
| x500 |  |
 |
| 表面粗さ | Ra：0.50μm | Ra：0.010μm |
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