製品案内

超精密研削・研磨Tool

  • CMPコンディショナーREV
  • HAL-BGホイール
  • HALプレート

HAL-BGホイール

主な特長

超鏡面研削加工が可能

サブミクロンの微細砥粒による超鏡面研削加工が可能

低研削抵抗を達成

既存砥石に比べて低い研削抵抗を達成

優れたボンド特性

トライボロジー特性に優れたボンド特性

ご紹介

HAL-BGホイールは既存砥石に比べ低い研削抵抗を実現しました。ボンド特性にも優れ、サブミクロンの微細砥粒により超鏡面研削加工が可能です。

加工例

シリコンウェハBGの超鏡面研削

既存の2軸研削面(レジン#2,000)に比べ大幅な鏡面化を達成

シリコンウェハBGの超鏡面研削

サファイアの研削加工

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    Let’s show your ability

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    社会とともに、社会から信頼される企業であり続けるために

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